5/10~5/13に開催された国際学会CSW 2021にて、
M1の吉岡と山本が口頭発表しました。
5/12 吉岡発表
セッション： Long and mid-IR wavelength devices
タイトル：Temperature Coefficient Of InGaAs MEMS Beam
Resonators
5/13 山本発表
セッション：Novel materials and device structures
タイトル：Sensitivity improvement of MEMS thermal sensors with
mesh nanostructures
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CSW 2021
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